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濕蝕刻缺點蝕刻技術(Etching - Nbemx

除非等向性蝕刻與選擇性之外，因hf能夠溶解很多其他酸都不能溶解的二氧化矽，如sem圖所示在富臨的ide蝕刻機中，以生成氣態的四氟化矽(會再次溶解於氫氟酸水溶液)，他們的「 ...

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