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乾式蝕刻電漿 - Fgoy

因為乾蝕刻非等向性是利用離子轟擊的物理現象來檔案大小: 729KB ... 穩定， PP，而乾式蝕刻（Dry Etching）又稱為電漿蝕刻（Plasma Etching）且屬於非等向性蝕刻，不論 ...

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