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乾蝕刻

溼式蝕刻與乾式蝕刻的比較溼式蝕刻乾式蝕刻橫向蝕刻深度3μm 以下製程不可接受極小蝕刻輪廓等向性非等向性到等向性, 可控制蝕刻速率高尚可, 可控制選擇性高尚可, ...

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