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晶圓製程中的乾蝕刻與濕蝕刻是什麼? - 品化科技股份有限公司

與上部電極平行放置的晶圓板支持架加上高頻電壓時，氣體將被電漿化，正、負離子或電子等的帶電粒子以及中性的活性種源等等在電漿中相互混合於一處。

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