等向性. 薄膜. 2. 蝕刻輪廓. 光阻. 光阻. 薄膜. 基片. 基片. 非等向性. 光阻. 薄膜. 光阻. 等向性 ... 在處理圖案化蝕刻時,電漿蝕刻逐漸取代濕式蝕刻. 濕式蝕刻.
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