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中部科學工業園區光電半導體業職業衛生危害調查與預防科技 ...

顯影、蝕刻、去光阻及洗淨之過程須重複7～8 次之多，與半導體製程中於 ... 2006 年某科技廠2 名工程師裝設2 部蝕刻機台時，A 機台裝設完畢進行測試 ... 濕蝕刻製程.

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