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材料分析如何協助先進製程設備改善缺陷 - TechNews 科技新報

有非常多因素會影響產品良率，本期iST 宜特小學堂將聚焦於「先進製程設備 ... 晶粒尺寸是隨著基板溫度升高而變大，有助於提供鍍膜速率與品質的控制。

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