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混合混和差別
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RCA clean 製程 - 弘塑科技股份有限公司
... 並與清洗溶液中氨水及雙氧水的混和比例、製程溫度及洗淨時間有直接的關聯。 ... 及醋酸(CH3COOH)三種成份之混合溶液來蝕刻矽,其製程原理包含二道反應步驟:
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「混合混和差別」
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