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深紫外光波長
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光刻膠g線、i線、KrF、ArF、EUV,到底是在說什麼- 每日頭條
01半導體光刻膠分類半導體光刻膠根據曝光光源波長不同來分類,分別是紫外全譜(300~450nm)、G 線(436nm)、 I 線(365nm)、深紫外(DUV, ...
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