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深紫外光波長
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我国研制出实用深紫外光刻机 - 中国航空新闻网
(a)设备外观图;(b)设备输出光谱实测曲线。 近日,中国科学院光电技术研究所微电子专用设备研发团队研制成功波长254nm的实用深紫外光刻机(Mask ...
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