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深紫外光波長
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【Focus】极紫外光刻(Extreme Ultraviolet Lithography)
编者按:多年来,光刻技术的物理限制一直被认为是芯片制造工艺在深亚微米发展的重要障碍。光刻技术在从等倍光刻发展到投影微缩光刻的过程中,使用的波长越来越短,从 ...
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「深紫外光波長」
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