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深紫外光波長
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什么是极紫外光刻极紫外光刻优势介绍 - 电子发烧友
根据焦深公式 DOF=k2*λ/(NA)2可知,增大数值孔径虽然可以提高分辦率,但也会降低焦深,影响成像效果,因此发展光刻技术最有效的手段为缩短光源波长。在 ...
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