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深紫外光波長
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中文計劃名稱, 以氮化鋁薄膜研製深紫外光偵測器之最佳化研究(II) ... 製程的紫外光微影技術,更需使用到深紫外光、真空紫外光甚至極短紫外光,因此更短波長的紫外光偵 ...
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「深紫外光波長」
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