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深紫外光波長
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一窺全世界技術最精密的機具-工業技術與資訊月刊-出版品
但到了1990年代末,晶片廠已經把深紫外光的波長縮到最小,不知如何進一步縮短,似乎有必要採取新的光源。此時的艾司摩爾還只是一家員工300人的小 ...
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「深紫外光波長」
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