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深紫外光波長
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微影照像
更短波長的深紫外光(deep UV, DUV)。主要的技術挑戰為低強度光源和高吸收. 光阻、高吸收透鏡材料。光阻需要新的樹脂(resin)、新的感光劑(sensitizer),.
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