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深紫外光波長
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ASML - 從高壓汞燈到EUV極紫外光☄️ - Facebook
為了追求更小的線寬,ASML微影設備改採用深紫外光 ... F)的同時,由於雷射光光源的幾大特性:波長單一(一 ... 波長的光源,基本上無法從雷射器中直接產生,必須經
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