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深紫外光波長
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陸半導體有解?ASML光刻機是解藥還是毒藥 - 工商時報
... 於7奈米製程的DUV(深紫外光)光刻機,不像目前最先進EUV(極紫外光)光刻機 ... 特殊技術輔助推進至10奈米左右已是極限,這是因為DUV的紫外光波長193 ...
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