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深紫外光波長
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https://www.tiri.narl.org.tw/Files/Doc/Publication/InstTdy/148/01480240.pdf
用於次25 奈米極紫外光曝光機之新穎反射型衰減式相位移光罩
罩結構在極紫外光波段不僅可達到180° 相位移與高反射率,而且在深紫外光(DUV) 波段有 ... 深紫外光檢視波長(257 nm 或365 nm) 卻有相反的. 高反射特性。
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