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深紫外光波長
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深紫外光近場光罩的應用與發展__臺灣博碩士論文知識加值系統
... 但是光會隨著波長的縮小而增強穿透效果,不容易折射聚焦,另外透鏡的數值孔徑則會受材質或者大小影響。目前業界主要使用深紫外光波段的193 nm曝光機搭配濕浸式曝光 ...
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