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深紫外光波長
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EUV是個什麼酷東西? — 決定未來半導體先進製程的關鍵技術
EUV,全名為Extreme Ultraviolet,中文叫做「極紫外光」,是一種波長極短的 ... 台積電等公司採用DUV 深紫外光、波長落在200奈米上下的光去進行製造。
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「深紫外光波長」
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