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半导体/电子行业超纯水系统--沛亿科技

集成电路的集成度越高，芯片上的组件或连接组件间的配线线径越细，对水质的要求也越高（一般要求超纯水电阻率18.2MΩ.cm(25℃)、TOC＜5ppb、细菌内毒素＜0.03EU/ml）。

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