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水阻值越高
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氧化鉿電阻式記憶體特性之研究
... 鈦層會越來越緻密所以元件在Set過程中的低阻態阻值越來越高(LRS degrade)。所以可以藉由調控ALD製程中的水氣壓力使元件達到理想的薄膜品質,增長元件的操作次數。
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