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矽晶圓製造業資源化應用技術手冊

... 阻值及各種不純物之含量。但是，當. 控制矽晶棒外徑的自動化系統出現後，單晶成長 ... 為降低生產的運行成本，半導體工廠水的回收再利用是個很重要的問題。 故在新建設 ...

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