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純水/超純水原理 - 離子交換樹脂事業部門

超純水的定義：一般指經離子交換製程，活性碳、濾膜法去除水中主要的不純物質，而比阻抗值達到18.2MΩ.cm @25℃的水。 超純水【ultrapure water (UPW)】的概念與半導體工業 ...

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