曝光輻射穿透光罩（photomask）中透明的部分，電路圖案. 的不透明部分阻擋部分輻射。阻劑（resist）對輻射敏感，而且對蝕刻有阻抗，塗敷. 於晶圓（wafer）表面。光罩在 ...
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