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半導體廠含IPA廢水經氧化轉換為acetone之研究

由於半導體廠濕式機台各種清洗製程後純水洗淨廢水排放之前段時間，IPA及H2O2前段 ... 值，一般是會被臭氧所分解，其路徑如圖. 5. 所示，而由於. IPA. 廢水氧化過程中的. pH.

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