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低維度半導體材料之關鍵技術與應用

圖3. 水輔助WS2 成長於(a) 降低缺陷密度、(b) 提升mobility 及(c) 元件特性量測 ... 高；而TaN 電阻值(290 μΩ·cm) 也遠高於Cu (~1.67 μΩ·cm)，未來需要更薄更導電的 ...

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