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IC 縮小術！林本堅院士談光學微影如何把IC 愈變愈小

August 29, 2022 by 研之有物 Tagged: IC, 光學微影, 光阻原料, 全反射式光學系統, 林本堅, 電晶體閘極半導體, 尖端科技, 晶圓, 晶片. 分享.

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