目前十二吋晶圓廠對純水水質主要的要求如下:. 電阻值 >18.2MΩ-cm. 總有機碳 <0.5ppb. 二氧化矽 >0.1ppb. 金屬 <20ppt. 硼 <50ppt. 粒子 >0.05um. <0.2pcs/c.c.. 純 ...
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