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半導體等行業超純水系統的基本設計指引

其狹義之意：為去離子之水，將水中之離子(如Na+、Ca2+、Mg2+、Al3+、C1-、F-、SO42-、NO3-、etc.) 予以去除，降低其離子濃度，提高水之電阻值(Ω·cm)。

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