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第一章緒論 - 國立交通大學機構典藏

10 萬元，其有許多孔洞，能夠使反應氣體以最佳分布沉積於晶圓上，與Top plate. 相同，Shower plate 正面覆蓋一層不導電之陽極膜，背面為導電性良好之鋁合. 金表面。

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