符合SECS/GEM 標準通信規範,具有FOUP/Reticle POD 自動偵測充氣,防氮氣洩漏警告, ... 主要使用於12 吋晶圓廠生產區天花板或軌道,FOUP/Reticle POD 氮氣充填設備。
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