由有機金屬化學. 氣相沈積(MOCVD)所長成磊晶結構,包含藍寶. 石基板(sapphire) 、 3µm 未經摻雜之氮化鎵. (u-GaN)、3 µm由矽摻雜濃度為1×1019 (cm-3)之n. 型氮化鎵(n-GaN) ...
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