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電子材料 - 第 153 頁 - Google 圖書結果

在乾蝕刻( dry etching )時常用來蝕刻 Si 、 SiO2 、 SigNA 、氧氮化矽( SiON )、磷砂玻璃( PSG )、硼磷矽玻璃( BPSG )、鋁合金、鍋等。在 CF 中加入少量的, ...

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