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電漿蝕刻

本論文應用電感耦合電漿技術於氮化鎵材料的乾蝕刻及探討各項實驗操作因素對氮化鎵蝕刻結果的影響。 儀器中文名稱：高密度電漿蝕刻系統儀器廠牌及型號：Unaxis / Nextral ...

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