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濕蝕刻等向性 - Daylilies

化學氣相沉積或乾式蝕刻則會運用許多反應性極強的氣體，其區別如下：干蝕刻：利用 ... 速率SiO + 6HF H SiF + 2H O 2 2 6 2 氮化矽的濕式蝕刻• 熱(150 到200 C) 磷酸 ...

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