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東海大學環境科學研究所碩士論文積體電路晶圓製造工業水資源 ...

移至各薄膜層上，經由蝕刻製程（Etching）產生所要之線路圖形，利. 用離子植入（Ion Implantation）或 ... 濕式蝕刻主要應用於二氧化矽層(SiO2)、氮化矽層(Si3N4)、.

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