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氮化矽乾蝕刻
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得分: 102學年度第1學期第13次平考 命題教師: 範圍: 年 班 ...
在IC製程中,將部分未被光阻保護的氮化矽層加以除去,並留下所需的線路圖的步驟,稱為 ... 以整個超大型積體電路的製程而言,若A:薄膜製作;B:蝕刻;C:摻雜;D:微 ...
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