矽可以溶解在鋁內且鋁可以擴散進入矽內. • 連接尖凸物 ... 氮化鈦. • 阻擋層. – 防止鎢擴散. 附著層. • 附著層. – 幫助鎢附著在氧化矽表面 ... 非常難進行乾蝕刻.
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