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液體流微管之製造研發及其內微液流熱傳現象研究

用乾蝕刻(Dry Etching)方式蝕刻出絕熱通道並在加 ... Residual Stress）的氧化矽及氮化矽薄膜，然而薄膜 ... 感壓薄膜方面預計利用氮化矽製作，如何沉積出低.

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