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磷酸中二氧化矽的選擇性濕法蝕刻方法 - 資訊咖

1–5氮化矽通常可以通過各種方法去除，例如干法蝕刻、HFBOE(緩衝氧化物蝕刻)等。然而，在磷酸介質中，氮化矽對氧化物的高蝕刻選擇性使得氧化矽用作蝕刻停止 ...

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