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微機械邏輯閘之設計、製作及測試研究成果報告(精簡版)

罩，回蝕﹙Etch back﹚ 氮化矽，將步驟. 10～11 中，絕緣溝槽以外的低應力氮化矽. 和未參雜多晶矽去除。 ▫ 步驟13. 乾蝕刻參雜多晶矽﹙poly2﹚，.

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