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氮化矽乾蝕刻
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氮化矽半導體設備零件 - 碳化矽SiC
鴻創應用以氮化矽素材研發各種氮化矽(Si3N4)產品如氮化矽Si3N4乘載盤;氮化矽(Si3N4)具低導通電阻、耐衝撞擊、耐高壓、高 ... 半導體乾、濕蝕刻製程、Mocvd等製程。
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