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發明專利說明書

例如,氮化矽(Silicon nitride, Si3N4)可 ... 之氮化矽薄膜氧化成為氧化矽[F. S.-S. Chien, et al., App1. ... 物作為遮罩,或以電漿將氮化物薄膜乾蝕刻去除,後續以.

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