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題目：單晶矽太陽能電池表面粗糙化結構和抗反射層薄膜製程及 ...

6.2 不同厚度的氮化矽（Si3N4）抗反射層之反射率 ... 表5.2 PECVD沉積的氮化矽的製程參數。 ... 的，而乾蝕刻通常是一種電漿蝕刻(plasma etching)，電漿蝕刻中的.

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