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行政院原子能委員會委託研究計畫研究報告

一、氮化鎵長在碳化矽(GAN ON SIC)前晶粒製程技術背景介紹. 25. 二、背穿孔製程綜述. ... 化矽背向通孔的製作方式有雷射剝蝕與乾式蝕刻兩種，與雷射剝蝕.

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