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微機電製程應用於薄膜體聲波元件之研究Fabrication of thin film ...

氮化矽 薄膜具有最佳蝕刻遮罩效果，且搭配RIE 作兩階段蝕 ... 圖2-7 不同晶格之矽晶圓所蝕刻出的凹槽 ... RIE 乾蝕刻製程將所殘留之矽蝕刻去除，以確保元件之良率.

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