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离子泵的结构和原理图 - 真空技术网

离子 泵由强磁铁、蜂窝状阳极、钛(Ti)阴极构成(图1)。离子泵的基本原理是利用阴极放电产生气体分子的离子，离子撞击阴极而被阴极捕捉，同时也产生溅射 ...

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