... 彈性聚合物聚二甲基矽氧烷(Polydimethylsiloxane,. PDMS)製作微管道及薄膜結構,藉由施加壓縮氣體致使薄膜致動。 ... PDMS 經由氧電漿表面處理之化學結構示意圖。
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