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氧電漿pdms
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義守大學機械與自動化工程學系
致動的原理:將空氣引進氣體腔壓縮PDMS 致動薄膜產生變形,. 然後達到致動之目的。 ... 和PDMS 流體晶片產生緊密的接合,氧氣電漿清洗機可提供PDMS 穩定接.
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